KYOSAN電源維修RFK150ZDTG1電源控制器BKW-100

維修范圍：刻蝕、RIE、平行板、ICP、pecvd、射頻濺射、CVD 和PVD等系統(tǒng)，工業(yè)系統(tǒng)中感應(yīng)加熱和電介質(zhì)加熱設(shè)備的電源，烘干、塑化、接、硅晶體生長和平板顯示器領(lǐng)域應(yīng)用電源，直流偏壓和硬鍍膜，信息技術(shù)設(shè)備(ITE)及輕工業(yè)系統(tǒng)設(shè)備，同時對儀器電源提供檢測維修，服務(wù)于太陽能光伏、PVD鍍膜，半導(dǎo)體薄膜、離子注入、刻蝕，平板顯示，光盤、光電子LED等制造設(shè)備以及科研院校、技術(shù)研究所等行業(yè)。

射頻電源常見故障及維修：

故障現(xiàn)象1：打開電源，電源指示燈不亮；

故障現(xiàn)象2：電源燈亮了，預(yù)熱燈不亮；

故障現(xiàn)象3：電源燈亮了，預(yù)熱燈亮、輝光亮，匹配器功率及反射功率，電源的功率指示和電流指示不正常。（正常的功 率指針指到220，電流指示0.4）

故障現(xiàn)象4：電源燈亮了，預(yù)熱燈亮，輝光不亮；

故障現(xiàn)象5：無功率輸出；

故障現(xiàn)象6：有功率輸出，但是調(diào)不大，或是調(diào)不到正常值。

故障現(xiàn)象7：無反射功率，或反射功率過大，射頻功率源壞；