美國AE直流電源維修MDX-5K射頻電源維修

價格面議2025-07-24 13:40:04
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詳細地址 魯能七號院  

美國AE直流電源維修MDX-5K射頻電源維修

美國AE直流電源維修MDX-5K射頻電源維修

北京天浦正達AE直流電源維修中心可維修故障范圍包括:

無輸出,燒保險,開不了機,面板無顯示修,啟動無輸出,輸出電壓不正常,帶不了負載,模塊壞等

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AE MDX系列直流電源操作

前面板:

AE MDX直流電源操作及接線說明

1)指示燈

Output Power

a)Stop的指示燈亮時,表示電源已關閉

b)Start的指示燈亮時,表示電源已打開Regulation

a)Power的指示燈亮時,表示電源處于功率模式,設定值是功率值

b)Current的指示燈亮時,表示電源處于電流模式,設定值是電流值

c)Power和Current的指示燈同時亮時,表示電源處于電壓模式,設定值是電壓值

d)Power和Current的指示燈同時閃時,表示電源處于未知模式Status

a)Arc指示燈亮時,表示腔室內阻抗過低,輸出電流過電源規(guī)定的大值

b)Setpoint指示燈亮時,表示電源的輸出值已經達到設定值

c)Remote指示燈亮時,表示電源的開關或設置值處于遠控模式

d)Output指示燈亮時,表示電源已經打開

e)Plama指示燈亮時,表示輸出電流大于10mA

f)Interlock指示燈亮時,表示互鎖已經滿足,若不滿足,則該燈閃爍

Level鍵:用于設置電源參數(shù)

Display鍵:按改鍵可切換顯示功率、電壓或者電流

撥碼開關

RAMP,0.1 Sec:開關置下時,表示電源輸出從0到設定值的時間為0.1秒

RAMP,1.0 Sec:開關置下時,表示電源輸出從0到設定值的時間為1.0秒

RAMP,10 Sec:開關置下時,表示電源輸出從0到設定值的時間為10秒C HOLD:開關置下時,可縮短一次以后電源輸出值達到設定值的時間ON/OFF:開關置上時,表示通過User Port來打開或者關閉電源,置下時,表示通過前面板打開或者關閉電源

AE電源維修常見型號系列:

AE電源維修,美國MDX,MDXII,Pinnacle,Diamond系列AE電源維修,AE電鍍電源維修,AE射頻電源維修,電鍍高頻電源維修,刻蝕射頻電源維修,RE射頻電源維修,PECVD射頻電源維修,大功率工業(yè)電源維修,UPS電源維修等各行業(yè)工業(yè)用電源維修

射頻電源設備維修:刻蝕,RIE,PECVD,ICP,射頻濺射,CVD和PVD等系統(tǒng)

AE CESAR 1330 射頻電源維修 AE PEII-10K鍍膜電源維修 AE射頻電源RF-5S維修 AE射頻電源RFG3000維修

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