LFIX多路氣體動態(tài)配氣裝置用于2路及以上氣體比例動態(tài)混合配比

面議元2023-03-19 05:08:03
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LFIX多路氣體動態(tài)配氣裝置用于2路及以上氣體比例動態(tài)混合配比

多路氣體動態(tài)配氣裝置用于2路及以上氣體進(jìn)行比例動態(tài)混合配比,可以對不同的氣體濃度進(jìn)行測量及控制。精確控制各組份氣體濃度,可進(jìn)行動態(tài)氣體濃度的配比、多達(dá)20段分段模式動態(tài)配比,自動計(jì)算數(shù)據(jù)并生成報(bào)告,實(shí)時(shí)在線輸出到終端設(shè)備中,操作人性化,大大提高了使用時(shí)的方便性。應(yīng)用領(lǐng)域:醫(yī)藥、環(huán)保、半導(dǎo)體、化學(xué)化工、科研院所、食品保鮮、特種材料學(xué)科、微電子工藝設(shè)備、精密濃度傳感器工藝本公司所研發(fā)、設(shè)計(jì)、生產(chǎn)的多路氣體混合配比儀、非標(biāo)氣體定制設(shè)備,均采用國內(nèi)外先進(jìn)技術(shù)研制的精密設(shè)備進(jìn)行檢測,大大的提高了我公司產(chǎn)品在使用時(shí)的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。(一)氣體傳輸:2-16種氣體?,?Swagelok卡套連接(二)氣體類型:30種(三)進(jìn)氣壓力:0.1-3MPA(四)控制閥動作型式:常閉式(五)響應(yīng)時(shí)間(sec):1S(六)工作壓差:0.05~0.5MPA(七)耐壓:3MPA(八)控制原理:質(zhì)量流量控制,每個(gè)出口單獨(dú)控制(九)流量:50SCCM,100SCCM,500SCCM,10SLM,100SLM,1000SLM,3000SLM可定做?可任意范圍內(nèi)調(diào)節(jié)比例關(guān)系(定貨時(shí)需要說明使用的范圍)。(十)采用溫度變化對應(yīng)于質(zhì)量流量的原理,可以對不同的氣體進(jìn)行流量量測及控制,并且不會受到溫度及壓力變化的影響
其他流速可選擇?,其他氣體可選擇(十一)準(zhǔn)確性:?優(yōu)于1%(根據(jù)流量大小而定)(十二)數(shù)據(jù):輸出的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換為標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的質(zhì)量(?1個(gè)大氣壓,0度)標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為:標(biāo)準(zhǔn)溫度………………0℃(273.15K)標(biāo)準(zhǔn)壓強(qiáng)………………101325Pa控制顯示方式:電腦操作精 確控制兩種不同氣體流量大小,使用其按不同比例(量)均勻混合,并精 確控制混合氣體流量大小??赏ㄟ^電腦軟件控制及采集流量信號

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