化合物半導(dǎo)體硅片鉆孔微孔來圖定制

200元2022-12-02 08:14:43
  • 北京華諾恒宇光能科技有限公司
  • 硅片切割打孔
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詳情

產(chǎn)地 北京 分類 硅片切割
切割加工最小縫隙 0.05mm 加工厚度范圍 0.1--2mm
加工方式 激光切割 品牌 HE
微信號 13011886131 服務(wù)范圍 全國
硅片大小加工范圍 300mm 聯(lián)系人 張經(jīng)理

化合物半導(dǎo)體硅片鉆孔微孔來圖定制

硅片切割機(jī)又名硅片激光切割機(jī),激光劃片機(jī)。是激光劃片機(jī)在 電子行業(yè)硅基片的切割的又一新領(lǐng)域的應(yīng)用。激光劃片是利用高能激光束照射在工件表面,使被照射區(qū)域局部熔化、氣化、從而達(dá)到劃片的目的。因激光是經(jīng)專用光學(xué)系統(tǒng)聚焦后成為一個非常小的光點,能量密度高,因其加工是非接觸式的,對工件本身無機(jī)械沖壓力,工件不易變形。熱影響極小,劃精度高,廣泛應(yīng)用于太陽能電池板、薄金屬片的切割和劃片


硅片激光加工設(shè)備的應(yīng)用:
激光劃片機(jī)主要用于金屬材料及硅、鍺、砷化鎵和其他半導(dǎo)體襯底材料劃片和切割,可加工太陽能電池板、硅片、陶瓷片、鋁箔片等,工件精細(xì)美觀,切邊光滑。采用連續(xù)泵浦聲光調(diào)Q的Nd:YAG激光器作為工作光源,由計算機(jī)控制二維工作臺,能按輸入的圖形做各種運(yùn)動。輸出功率大,劃片精度高,速度快,可進(jìn)行曲線及直線圖形切割。

硅片加工的具體加工內(nèi)容
承接0.05mm-2mm各種激光切割、開孔鉆孔、劃線、開槽、異形切割、盲孔盲槽定制。
應(yīng)用及市場
太陽能行業(yè)單晶硅、多晶硅、非晶硅帶太陽能電池片和硅片的劃片(切割、切片)。

激光屬于無接觸式加工,不對晶圓產(chǎn)生機(jī)械應(yīng)力的作用,對晶圓損傷較小。由于激光在聚焦上的優(yōu)點,聚焦點可小到微米數(shù)量級,從而對晶圓的微處理更具有優(yōu)越性,可以進(jìn)行小部件的加工;即使在不高的脈沖能量水平下,也能得到較高的能量密度,有效地進(jìn)行材料加工。大多數(shù)材料吸收激光直接將硅材料氣化,形成溝道。從而實現(xiàn)切割的目的因為光斑點較小,最低限度的炭化影響。

隨著硅半導(dǎo)體集成電路的廣泛應(yīng)用,硅半導(dǎo)體集成電路都要用到晶圓,傳統(tǒng)的晶圓切割方法,都是手工采用金剛石刀進(jìn)行切割,在晶圓上劃分出若干個圓環(huán),在劃分出的圓環(huán)上切割出面積相等或者近似相等的小圓弧體?;蛘卟捎玫氖欠蔷鶆驁A環(huán)、同一圓心角內(nèi)進(jìn)行切割的切割方法,這種晶圓切割方法的耗材大,經(jīng)常要更換刀具,切割出來的晶圓芯片相距的寬度比較大,不均勻,所能切割的材料單一,適用性差,效率低下。
因此晶圓激光切割的方法工作效率高、能精確地調(diào)整待切割晶圓的各個方向的位置、精度高、全自動運(yùn)行,對晶圓切割的位置進(jìn)行準(zhǔn)確定位,切割出來的晶圓芯片均勻、美觀,能切割多種材料,適應(yīng)性強(qiáng),可以避免薄晶圓因切割破裂

晶圓(Wafer)是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅芯片,由于其形狀為圓形,故稱為晶圓。晶圓是生產(chǎn)集成電路所用的載體,一般意義晶圓多指單晶硅圓片。
晶圓是最常用的半導(dǎo)體材料,按其直徑分為4英寸、5英寸、6英寸、8英寸等規(guī)格,近來發(fā)展出12英寸甚至研發(fā)更大規(guī)格(14英吋、15英吋、16英吋、……20英吋以上等)。

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