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質(zhì)量流量計(jì)廠家:氣體質(zhì)量流量計(jì)的特色和原理介紹

發(fā)布時(shí)間:2024-04-07 22:48:13 來(lái)源:互聯(lián)網(wǎng) 分類:電氣知識(shí)

文章摘要: ?????? 質(zhì)量流量計(jì)廠家:質(zhì)量流量控制器,簡(jiǎn)稱MFC,為了實(shí)現(xiàn)高精尖端制程中對(duì)氣體的用量精準(zhǔn)控制,氣體質(zhì)量流量計(jì)應(yīng)運(yùn)而生。針對(duì)氣體流量計(jì)存在著量程比小的問(wèn)題,量程下限以下的流量基本丟失,然而這在某些領(lǐng)域不可接受,在燃?xì)獾荣Q(mào)易結(jié)算場(chǎng)合更是無(wú)法忍受。

?????? 質(zhì)量流量計(jì)廠家:質(zhì)量流量控制器,簡(jiǎn)稱MFC,為了實(shí)現(xiàn)高精尖端制程中對(duì)氣體的用量精準(zhǔn)控制,氣體質(zhì)量流量計(jì)應(yīng)運(yùn)而生。針對(duì)氣體流量計(jì)存在著量程比小的問(wèn)題,量程下限以下的流量基本丟失,然而這在某些領(lǐng)域不可接受,在燃?xì)獾荣Q(mào)易結(jié)算場(chǎng)合更是無(wú)法忍受。氣體質(zhì)量流量計(jì)的出現(xiàn),圓滿地解決了這個(gè)問(wèn)題。


質(zhì)量流量計(jì)廠家:氣體質(zhì)量流量計(jì)

氣體質(zhì)量流量計(jì)的特色:

?????? 1.復(fù)合氣體/復(fù)合流量功能-氣體種類和全流量可以由客戶更改。
?????? 2.可變PID功能提供全流量范圍高速響應(yīng)時(shí)間(在一秒以內(nèi))。
?????? 3.緊湊型氣路-不需要調(diào)壓閥,壓力傳感器和過(guò)濾器。
?????? 4.穩(wěn)定氣體流量控制,不受上流和下流壓力的影響。
?????? 5.集成進(jìn)氣端壓力傳感器。
?????? 6.自身多種顯示。
?????? 7.精度保證1%設(shè)定流量。

質(zhì)量流量計(jì)廠家:氣體質(zhì)量流量計(jì)的原理

?????? 氣體流量計(jì)采用熱擴(kuò)散原理,熱擴(kuò)散技術(shù)是一種在苛刻條件下性能優(yōu)良、可靠性高的技術(shù)。其典型傳感元件包括兩個(gè)熱電阻(鉑RTD),一個(gè)是速度傳感器,一個(gè)是自動(dòng)補(bǔ)償氣體溫度變化的溫度傳感器。當(dāng)兩個(gè)RTD被置于介質(zhì)中時(shí),其中速度傳感器被加熱到環(huán)境溫度以上的一個(gè)恒定的溫度,另一個(gè)溫度傳感器用于感應(yīng)介質(zhì)溫度。

?????? 流經(jīng)速度傳感器的氣體質(zhì)量流量是通過(guò)傳感元件的熱傳遞量來(lái)計(jì)算的。氣體流速增加,介質(zhì)帶走的熱量增多。使傳感器溫度隨之下降。為了保持溫度的恒定,則必須增加通過(guò)傳感器的工作電流,此增加的部分電流大小與介質(zhì)的流速成正比。質(zhì)量流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調(diào)節(jié)閥和放大控制電路等部件組成,質(zhì)量流量計(jì)由流量傳感器、分流器通道放大電路等部件組成。氣體通過(guò)質(zhì)量流量控制器(質(zhì)量流量計(jì))時(shí),大部分氣體通過(guò)分流器,少量氣體流過(guò)流量傳感器。

?????? 質(zhì)量流量計(jì)廠家:流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理,電橋?qū)z測(cè)的流量信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)。電信號(hào)經(jīng)放大器放大為0~5VDC,放大后的流量檢測(cè)電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較,再將比較后的差值電壓放大后去驅(qū)動(dòng)控制閥門,PID閉環(huán)控制,使流過(guò)通道的流量與設(shè)定的流量相等。

質(zhì)量流量計(jì)廠家:氣體質(zhì)量流量計(jì)的特色和原理介紹

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