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電子顯微鏡的成像原理是什么?

發(fā)布時(shí)間:2023-04-08 17:29:13 來(lái)源:互聯(lián)網(wǎng) 分類:電氣知識(shí)

文章摘要: 電子顯微鏡,是以電子束為照明源,通過(guò)電子電流對(duì)樣品進(jìn)行透射或反射,再經(jīng)電磁透鏡多級(jí)放大后,在熒光屏上成像的大型儀器。經(jīng)過(guò)50多年的發(fā)展,它已經(jīng)成為現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)中不可或缺的重要工具。電子顯微鏡技術(shù)的應(yīng)用是以光學(xué)顯微鏡為基礎(chǔ)的,那么電子顯微鏡的成

  電子顯微鏡,是以電子束為照明源,通過(guò)電子電流對(duì)樣品進(jìn)行透射或反射,再經(jīng)電磁透鏡多級(jí)放大后,在熒光屏上成像的大型儀器。經(jīng)過(guò)50多年的發(fā)展,它已經(jīng)成為現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)中不可或缺的重要工具。電子顯微鏡技術(shù)的應(yīng)用是以光學(xué)顯微鏡為基礎(chǔ)的,那么電子顯微鏡的成像原理是什么?


  電子顯微鏡成像的原理是什么:


  電子顯微鏡通過(guò)用聚焦電子束掃描樣品表層來(lái)產(chǎn)生樣品表層的圖像。

? ? ? ?電子顯微鏡

  電子與樣品中的原子相互作用,產(chǎn)生各種包含樣品形貌和成分信息的信號(hào)。電子束通常以光柵掃描模式掃描,并且電子束的位置與檢測(cè)到的信號(hào)結(jié)合以生成圖像。


  電子顯微鏡的分辨率優(yōu)于1納米。樣品可以在高真空、低真空、潮濕條件下(用環(huán)境掃描電子顯微鏡)和各種低溫或高溫下觀察。


  普遍的電子顯微鏡模式是檢測(cè)由電子束激發(fā)的原子發(fā)射的二次電子??梢蕴綔y(cè)到的二次電子數(shù)量取決于樣品的形貌和其他因素。


  通過(guò)掃描樣品并用特殊的檢測(cè)器收集發(fā)射的二次電子,就可以生成顯示表層形貌的圖像。也可以產(chǎn)生樣品表層的高分辨率圖像,并且圖像是三維的,從而識(shí)別樣品的表層結(jié)構(gòu)。


  以上內(nèi)容是對(duì)電子顯微鏡成像原理的介紹。電子顯微鏡是20世紀(jì)的一項(xiàng)重要科技發(fā)明。它是一種電子光學(xué)器件,利用電子與物質(zhì)相互作用產(chǎn)生的信號(hào)來(lái)確定晶體結(jié)構(gòu)、微觀結(jié)構(gòu)、化學(xué)成分、化學(xué)鍵和電子在微區(qū)的分布。常用的有透射電子顯微鏡和掃描電子顯微鏡。與光學(xué)顯微鏡相比,電子顯微鏡用電子束代替可見光,用電磁透鏡代替光學(xué)透鏡和熒光屏對(duì)不可見的電子束成像。


電子顯微鏡的成像原理是什么?

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