工藝冷卻水系統(tǒng)原理

　　工藝冷卻水系統(tǒng)是用于半導體、微電子等行業(yè)中關(guān)鍵設備的間接冷卻裝置，分為開式系統(tǒng)和閉式系統(tǒng)。下面就工藝冷卻水系統(tǒng)組成、工作原理內(nèi)容進行詳細介紹。

　　工藝冷卻水的應用范圍非常廣泛，涉及到工業(yè)生產(chǎn)中的各方面，包括半導體、大型中央空調(diào)、煤化工、石化廠、微電子、工業(yè)制冷機、火電廠中汽輪機排氣冷凝、天然氣管道降溫等場所均有大量的工藝冷卻水使用，在許多產(chǎn)品或工藝生產(chǎn)環(huán)境都要求配備潔凈廠房，車間全年要求溫度和相對濕度保持在一定范圍，其中一些生產(chǎn)過程發(fā)熱量大，工藝設備需要低溫水冷卻降溫，甚至在冬季仍然需要空調(diào)供冷，為了滿足這些要求，必須建造工藝冷卻水系統(tǒng)，工藝冷卻水系統(tǒng)分為開式系統(tǒng)和閉式系統(tǒng)兩類。

　　工藝冷卻水系統(tǒng)組成及工作原理

　　工藝冷卻水系統(tǒng)由以下幾部分組成：冷水機組、泵、熱交換器、水箱、過濾器、工藝設備。

　　冷水機組：給冷卻水系統(tǒng)提供冷源。

　　水泵：對水加壓，保證其在冷卻系統(tǒng)中循環(huán)流動。

　　熱交換器：利用此設備使冷凍水系統(tǒng)與冷卻水系統(tǒng)產(chǎn)生熱交換，以將此系統(tǒng)負載端產(chǎn)生的熱量傳送給冷凍水系統(tǒng)，熱交換器種類繁多，按其形式可分管殼式、板式、板翅式、熱管式等。相比較而言，板式熱交換器具有占地面積小，傳熱面積大的優(yōu)點?？紤]到半導體廠房空間面積造價特色，優(yōu)選占地面積小的設備，節(jié)省用地面積，節(jié)省了工程造價。

　　水箱：開式系統(tǒng)中水箱主要起到補充水源作用，閉式系統(tǒng)中水箱需要挑選膨脹水箱，膨脹水箱有三個作用，一是收容和補償系統(tǒng)中水的脹縮量。二是向密閉式循環(huán)水系統(tǒng)提供穩(wěn)定的壓力，起到系統(tǒng)穩(wěn)壓的作用。三是作為系統(tǒng)補水泵的指示，通常由膨脹水箱發(fā)出信號啟動或關(guān)閉系統(tǒng)補水泵。

　　過濾器：過慮掉水中的固體顆粒雜質(zhì)，凈化水源。

　　工藝冷卻水系統(tǒng)中有冷凍水和冷卻水這兩個相對獨立的系統(tǒng)，冷凍水由冷水機組提供，冷凍水與冷卻水進行熱交換，使冷卻水降溫從而下降設備的溫度，從生產(chǎn)設備抽水經(jīng)水泵至熱交換器通過控制冷凍水的量來保證工藝冷卻水的水溫，通過過濾器后送至生產(chǎn)線設備，再回到水泵，構(gòu)成工藝冷卻水反復循環(huán)，冷凍水則直接回冷水機組。