真空鍍膜機(jī)詳細(xì)工作流程！

真空鍍膜機(jī)主要指一類(lèi)需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜，具體包括很多種類(lèi)，包括真空電阻加熱蒸發(fā)，電子槍加熱蒸發(fā)，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積，離子束濺射等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。

真空鍍膜機(jī)一般是加熱靶材使表層組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來(lái)。并且沉降在基片表層，通過(guò)成膜過(guò)程（散點(diǎn)－島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長(zhǎng)）形成薄膜。 對(duì)于濺射類(lèi)鍍膜，可以簡(jiǎn)單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材，并使表層組分以原子團(tuán)或離子形式被濺射出來(lái)，并且最終沉積在基片表層，經(jīng)歷成膜過(guò)程，最終形成薄膜。

真空鍍膜機(jī)在真空環(huán)境中，將材料加熱并鍍到基片上的技術(shù)為真空蒸鍍。具體而言，真空鍍膜機(jī)是將待成膜的物質(zhì)置于真空中進(jìn)行蒸發(fā)或升華，使之在工件或基片表層析出的過(guò)程。真空蒸鍍中的鍍層通常為鋁膜，但其它鍍層也可通過(guò)蒸發(fā)沉積形成。然而，現(xiàn)有的鍍膜機(jī)結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜且成本較高，無(wú)法充分適應(yīng)工業(yè)化生產(chǎn)的需求，不利于下降鍍膜產(chǎn)品的成本。

真空鍍膜機(jī)與手套箱組合，實(shí)現(xiàn)蒸鍍、封裝、測(cè)試等工藝全封閉制作，使整個(gè)薄膜生長(zhǎng)和器件制備過(guò)程高度集成在一個(gè)完整的可控環(huán)境氛圍的系統(tǒng)中，消除有機(jī)大面積電路制備過(guò)程當(dāng)中大氣環(huán)境中不穩(wěn)定因素影響，保障了高性能、大面積有機(jī)光電器件和電路的制備。