文章摘要: 在高真空下,電子束鍍膜機(jī)放出熱電子,被加速陽極加速,獲得巨大的動(dòng)能轟擊在蒸發(fā)材料上,動(dòng)能轉(zhuǎn)化為熱量加熱蒸發(fā)材料,實(shí)現(xiàn)電子束蒸發(fā)鍍膜。電子束鍍膜機(jī)由發(fā)射電子的熱陰極、電子加速電極和作為陽極的涂層材料組成。電子束蒸發(fā)源的能量可以高度集中,使得涂
在高真空下,電子束鍍膜機(jī)放出熱電子,被加速陽極加速,獲得巨大的動(dòng)能轟擊在蒸發(fā)材料上,動(dòng)能轉(zhuǎn)化為熱量加熱蒸發(fā)材料,實(shí)現(xiàn)電子束蒸發(fā)鍍膜。電子束鍍膜機(jī)由發(fā)射電子的熱陰極、電子加速電極和作為陽極的涂層材料組成。電子束蒸發(fā)源的能量可以高度集中,使得涂層材料局部達(dá)到高溫并蒸發(fā)。通過調(diào)節(jié)電子束的功率,可以方便地控制涂層材料的蒸發(fā)速率,特別是對(duì)于高熔點(diǎn)、高純度的金屬和化合物材料。
電子束鍍膜機(jī)涂層的特性
電子束鍍膜機(jī)是工業(yè)上常用的薄膜制造設(shè)備。由于蒸發(fā)涂布機(jī)的特色,它在薄膜生產(chǎn)中起著重要的作用,薄膜主要是通過涂布機(jī)中電子束的加熱來生產(chǎn)的。
1、電子束鍍膜機(jī)的優(yōu)點(diǎn)
(1)將涂布機(jī)中的電子束加熱方法與傳統(tǒng)的電阻加熱方法進(jìn)行了比較。電子束加熱會(huì)產(chǎn)生較高的通量密度,有利于高熔點(diǎn)材料的蒸發(fā),也能在一定程度上提高蒸發(fā)速率。
(2)電子束鍍膜機(jī)工作時(shí),將待蒸發(fā)的原料放入水冷銅坩堝中,可以避免材料被污染,制造出高純度的薄膜。
電子束蒸發(fā)的粒子動(dòng)能比較大,有利于薄膜的精度和結(jié)合力。
2、電子束鍍膜機(jī)的缺點(diǎn)
電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)整體結(jié)構(gòu)比較復(fù)雜,相對(duì)于其他鍍膜設(shè)備價(jià)格比較高。
鍍膜機(jī)工作時(shí),如果蒸發(fā)源附近的蒸汽密度比較高,電子束電流與蒸汽粒子會(huì)有一定的相互作用,影響電子通量,使電子通量失去或偏離軌道。同時(shí),你也可能引發(fā)蒸汽和殘余氣體的激發(fā)和電離,影響整個(gè)膠片的質(zhì)量。
電子束鍍膜機(jī)的性能優(yōu)點(diǎn)
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