一種屏蔽效果更佳的射頻離子源系統(tǒng)介紹

? ?通常而言，離子源技術(shù)是一門應(yīng)用廣泛、種類多、涉及科學(xué)多、工藝性強(qiáng)的應(yīng)用科學(xué)技術(shù)，目前應(yīng)用于多個領(lǐng)域。例如，由于其較高的加工確定性，離子束拋光被引入光學(xué)加工領(lǐng)域。離子束拋光方法需要在真空中應(yīng)用，濺射效應(yīng)造成的材料去除率相對較低，因此更適合光學(xué)加工的最后階段，以達(dá)到更高的精度或最終加工目標(biāo)。通常，使用可移動的射頻離子掃描設(shè)備，需要離子源本身滿足空間運動的要求。過去只能使用DC驅(qū)動的離子源，在現(xiàn)有的離子束拋光工藝中，離子源一般需要可以在沒有耗材的情況下連續(xù)工作，但DC驅(qū)動的離子源連續(xù)工作時間只能在10小時左右。對于大鏡頭，處理時間有時會高于幾十個小時。以至于過程本身受到很大的限制。為此，射頻離子源被越來越多地使用，它是一種通過射頻電離產(chǎn)生等離子體，然后通過柵極電場加速正離子產(chǎn)生離子束的離子源。通過射頻電離氣體，連續(xù)工作時間可以高于一千小時，且無損耗，運行時間長。但是射頻離子源系統(tǒng)需要配合射頻匹配網(wǎng)絡(luò)?，F(xiàn)有的射頻離子源系統(tǒng)通常有水冷負(fù)載輸入線，通過屏蔽網(wǎng)與射頻負(fù)載線連接到真空室的真空法蘭接頭，并穿出真空室。這種方式造成離子源具有安裝、運行欠穩(wěn)定，屏蔽效果不佳，出現(xiàn)位移等不足。

　　為戰(zhàn)勝上述技術(shù)缺點，技術(shù)人員提供一種性能更佳的射頻離子源系統(tǒng)。它采用以下技術(shù)方案：一種射頻離子源系統(tǒng)，包括設(shè)置在真空室中的射頻離子源、射頻匹配網(wǎng)絡(luò)和屏蔽殼；射頻離子源和射頻匹配網(wǎng)絡(luò)安裝在一體式外殼內(nèi)，射頻匹配網(wǎng)絡(luò)通過射頻負(fù)載線與射頻線圈連接，射頻匹配網(wǎng)絡(luò)通過射頻輸入傳輸線與射頻源連接；射頻離子源連接水冷負(fù)載輸入線，用于對射頻線圈進(jìn)行水冷。

????其中，所述一體式殼體的底部與屏蔽殼體的一端硬連接；屏蔽殼另一端與安裝在真空室上的真空法蘭接頭連接；射頻輸入傳輸線和水冷負(fù)載輸入線穿過屏蔽殼內(nèi)部到達(dá)真空室外部；屏蔽殼用于固定射頻離子源，屏蔽保護(hù)射頻輸入傳輸線。射頻匹配網(wǎng)絡(luò)采用型結(jié)構(gòu)的匹配網(wǎng)絡(luò)；射頻匹配網(wǎng)絡(luò)和射頻線圈的接地端連接在一體式外殼上。

????該射頻離子源系統(tǒng)的有益效果是：一是采用射頻離子源和射頻匹配網(wǎng)絡(luò)一體設(shè)計，射頻離子源和射頻匹配網(wǎng)絡(luò)作為一個整體存在，簡化了兩者之間的射頻負(fù)載線路傳輸，下降了干擾影響；二是屏蔽殼與真空室采用硬連接方式連接，起到了更好的固定射頻離子源和屏蔽保護(hù)輸入傳輸線的作用，使得射頻離子源的安裝較為穩(wěn)定，不容易出現(xiàn)移位情況；三是由于優(yōu)化了構(gòu)造，使水冷負(fù)載輸入線的安裝更加簡單方便，具有較強(qiáng)的適應(yīng)性。