陽(yáng)極膜線(xiàn)性離子源的安裝和操作

陽(yáng)極膜線(xiàn)性離子源的安裝和操作

??1.開(kāi)箱檢驗(yàn)

??打開(kāi)包裝，根據(jù)裝箱單檢驗(yàn)貨物是否齊全。

??2.機(jī)械安裝

??用戶(hù)可以根據(jù)自己的特定需求制作響應(yīng)式支架，方法是使用離子源表層四個(gè)角上預(yù)留的M6螺紋孔將離子源安裝在所需位置。 這項(xiàng)工作也可以委托我公司進(jìn)行設(shè)計(jì)和加工。

??3.真空泄漏檢測(cè)

??離子源在出廠(chǎng)前已經(jīng)過(guò)真空泄漏測(cè)試。 在將離子源安裝在噴涂機(jī)或其他系統(tǒng)上之后，應(yīng)進(jìn)行真空泄漏測(cè)試，以確保接口法蘭和系統(tǒng)之間的良好密封。 最簡(jiǎn)單的方法是關(guān)閉離子源的入口管并執(zhí)行真空測(cè)試。 觀察系統(tǒng)的局部真空度。 如果沒(méi)有明顯減少，則說(shuō)明已準(zhǔn)確機(jī)械安裝了離子源。 如果發(fā)現(xiàn)顯著減少，可以使用真空檢漏儀檢測(cè)泄漏或與我們公司聯(lián)系。

??4.氣體連接

??只需將質(zhì)量流量計(jì)（或其他氣體流量控制設(shè)備）的輸出端與離子源的氣體輸入端連接即可。 離子源的進(jìn)氣管是黃色氣管。 安裝離子源后，應(yīng)先關(guān)閉氣源，以觀察供氣管道，并進(jìn)行真空測(cè)試，以確認(rèn)整個(gè)供氣管道已密封。

??5.電源安裝

??根據(jù)離子源電源的原理圖，將驅(qū)動(dòng)電源的正極連接到離子源的陽(yáng)極，將驅(qū)動(dòng)電源的負(fù)極連接到離子源的外殼（即離子源的外殼）負(fù)極接地。 由于離子源的驅(qū)動(dòng)電壓很高（1500V），因此連接線(xiàn)和端子的結(jié)構(gòu)必須確保其耐壓高于5000V，同時(shí)要確保較大的絕緣間隙以避免在潮濕環(huán)境中產(chǎn)生蠕動(dòng)電弧 。

??6.冷卻水連接

??離子源有四個(gè)冷卻水管，兩個(gè)藍(lán)色和兩個(gè)橙色，分別是陽(yáng)極和陰極的冷卻水入口和出口。 其中，一組有兩個(gè)藍(lán)色的管道，冷卻水進(jìn)入，另一根流出，橙色的兩個(gè)管道成組，冷卻水進(jìn)入，另一根流出。 無(wú)需區(qū)分進(jìn)出水的方向，即用戶(hù)定義了與進(jìn)水口顏色相同的任何水管，另一個(gè)是出水口。 背板冷卻水，根據(jù)實(shí)際要求。

??注意：在使用離子源之前，必須確認(rèn)水冷管是否光滑且壓差是否符合要求。