當(dāng)前位置:首頁(yè) > 五金機(jī)械百科 > 工業(yè)機(jī)械知識(shí) > 怎樣挑選干式真空泵

怎樣挑選干式真空泵

發(fā)布時(shí)間:2024-03-11 17:37:09 來(lái)源:互聯(lián)網(wǎng) 分類(lèi):工業(yè)機(jī)械知識(shí)

文章摘要: 為了適應(yīng)不同的使用要求,干式真空泵被分為許多不同類(lèi)型的設(shè)備。對(duì)此,為了適應(yīng)不同的使用需求,下面將介紹如何準(zhǔn)確挑選它們。不同類(lèi)型的干式真空泵,我們總是渴望可以減小它們的物理尺寸。然而,這與真空泵的抽速相矛盾,干式真空泵的抽速與容積成正比。較小

為了適應(yīng)不同的使用要求,干式真空泵被分為許多不同類(lèi)型的設(shè)備。對(duì)此,為了適應(yīng)不同的使用需求,下面將介紹如何準(zhǔn)確挑選它們。

不同類(lèi)型的干式真空泵,我們總是渴望可以減小它們的物理尺寸。然而,這與真空泵的抽速相矛盾,干式真空泵的抽速與容積成正比。較小的物理尺寸意味著體積也很小。當(dāng)然,影響干式真空泵抽速的另一個(gè)重要因素是速度。為了使小型真空泵的吸氣速度與大型真空泵的吸氣速度相匹配,需要提高速度。改變干式真空泵轉(zhuǎn)速的方法有兩種,一種是改變電源的頻率,即使用變頻器;另一種是改變變速箱的傳動(dòng)比。其中,使用變頻器的優(yōu)點(diǎn)是可以提供閉環(huán)控制,但在重載時(shí)容易造成轉(zhuǎn)矩?fù)p失。改變變速箱的傳動(dòng)比是一種非常經(jīng)濟(jì)的方法,當(dāng)然只能提供單速,無(wú)法控制。

意外的干式真空泵錯(cuò)誤會(huì)下降機(jī)器效率,影響晶圓生產(chǎn)和交付,甚至造成晶圓報(bào)廢和其他零件的加工損壞。由于螺桿設(shè)計(jì)采用單級(jí)設(shè)計(jì),與滾珠槽、爪形和組合等多級(jí)泵相比,使用的零件數(shù)量可減少60%。這對(duì)于干式真空泵穩(wěn)定性和未來(lái)維護(hù)成本來(lái)說(shuō)是一個(gè)很大的優(yōu)勢(shì)。

一般來(lái)說(shuō),如果用戶認(rèn)為功耗對(duì)他來(lái)說(shuō)很重要,那么挑選內(nèi)壓螺桿干式真空泵可能是一個(gè)不錯(cuò)的挑選,而氮含量對(duì)他來(lái)說(shuō)并不重要。但總的來(lái)說(shuō),對(duì)廢氣處理的要求越來(lái)越嚴(yán)格,未來(lái)減少氮?dú)獾氖褂昧烤惋@得尤為重要。如果您想在不使用簡(jiǎn)單的庫(kù)存控制泵改變它們的情況下處理各種半導(dǎo)體工藝,外部壓縮螺釘干式真空泵不錯(cuò)的挑選。

結(jié)合上述所有設(shè)計(jì)類(lèi)型的優(yōu)點(diǎn)是理想的,具體取決于具體情況,但目前還不可能。因此,用戶需要了解干式真空泵的設(shè)計(jì)類(lèi)型,然后根據(jù)自己的工藝特色了解不同類(lèi)型的泵設(shè)計(jì)的影響。這種挑選可以下降干式真空泵使用成本,并獲得更長(zhǎng)的使用年限和穩(wěn)定的真空系統(tǒng)。


怎樣挑選干式真空泵

http://m.puxinwang.cn/news/deb5bbo1e8de.html

本文由入駐排行8資訊專(zhuān)欄的作者撰寫(xiě)或者網(wǎng)上轉(zhuǎn)載,觀點(diǎn)僅代表作者本人,不代表排行8立場(chǎng)。不擁有所有權(quán),不承擔(dān)相關(guān)法律責(zé)任。如發(fā)現(xiàn)本站有涉嫌抄襲侵權(quán)/違法違規(guī)的內(nèi)容, 請(qǐng)發(fā)送郵件至 paihang8kefu@163.com 舉報(bào),一經(jīng)查實(shí),本站將立刻刪除。

文章標(biāo)簽: 怎樣挑選干式真空泵