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超邁光電自主研發(fā)生產(chǎn)鍍膜設(shè)備 廠家直營(yíng)快速定制 規(guī)格型號(hào)齊全
超邁光電自主研發(fā)生產(chǎn)鍍膜設(shè)備 廠家直營(yíng)快速定制 規(guī)格型號(hào)齊全
cdcm12345
2024-08-28 10:48:05
一、鍍膜機(jī)的主要組成部分






一臺(tái)完整的鍍膜機(jī)通常包括以下主要組成部分:
1.真空腔體:用于產(chǎn)生和維護(hù)真空環(huán)境,主要包括吸氣、排氣、內(nèi)外罩殼、維護(hù)裝置、真空系統(tǒng)等相關(guān)設(shè)備。
2.基片夾持系統(tǒng):用于固定需要進(jìn)行鍍膜的基片,通常采用機(jī)械夾持或者磁力夾持的方式。
3.靶材或者源材料:用于鍍膜過(guò)程中的材料來(lái)源,通常是固體靶材或者液態(tài)源材料。
4.鍍膜控制系統(tǒng):用于對(duì)鍍膜過(guò)程中各個(gè)參數(shù)的控制和監(jiān)測(cè),包括真空度、電壓、電流、工件溫度、鍍層厚度等參數(shù)的監(jiān)測(cè)和調(diào)整。
五、鍍膜機(jī)工作原理
鍍膜機(jī)的工作原理通常是利用真空環(huán)境中高速運(yùn)動(dòng)的金屬離子撞擊材料表面,從而使其表面生成一層金屬膜層。下面是具體的鍍膜過(guò)程:
1.首先,將需要鍍膜的基片夾在夾持系統(tǒng)中,通過(guò)真空泵將腔體內(nèi)的氣體排出,形成高真空環(huán)境。
2.將靶材或者源材料置于真空腔體內(nèi),并利用磁場(chǎng)或者電弧等方式將其電離或者氣化。
3.通過(guò)高壓電場(chǎng),將離子加速并將其引向基片表面,撞擊基片表面,并與基片表面原子結(jié)合形成金屬膜層。
4.通過(guò)控制電壓、電流等各種參數(shù),可以控制成膜速度和成膜厚度,從而控制鍍層的質(zhì)量和厚度。




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