文章摘要: ? 離子源是使中性原子或分子電離并從中吸取離子束的設備。 隨著離子源技術的不斷發(fā)展,其在涂料中的應用越來越廣泛,對離子源本身的要求也越來越高。 高。 離子源技術多種多樣,如何挑選合適的離子源已成為涂料應用中的重要環(huán)節(jié)。今天小編就給大家講解下射頻
? 離子源是使中性原子或分子電離并從中吸取離子束的設備。 隨著離子源技術的不斷發(fā)展,其在涂料中的應用越來越廣泛,對離子源本身的要求也越來越高。 高。 離子源技術多種多樣,如何挑選合適的離子源已成為涂料應用中的重要環(huán)節(jié)。今天小編就給大家講解下射頻離子源基本介紹。
??射頻離子源由射頻電源供電,并由匹配設備自動匹配以產生等離子體,并且離子束在柵格的作用下被拉出。 流程如下:
??1.放電室的線圈在感應耦合下產生等離子體。
??2.離子束和屏蔽柵通過電源連接,因此等離子體相對于地面處于正電位。 加速網格通過電源以負電位連接到地面。 通過屏幕過濾的離子束將被加速。
??3.在柵極的下游,電子通過中和器注入離子束中,形成電荷平衡。
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射頻離子源基本介紹
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