金剛石劃片機(jī)技術(shù)特征

? ? ? 1.金剛石劃片機(jī)制備光波導(dǎo)的方法、特征以及步驟：

? ? ?（1）金剛石劃片機(jī)清洗平面光波導(dǎo)；

? ? ?（2）將刀片安裝在金剛石劃片機(jī)的刀架上；

? ? ?（3）用藍(lán)色薄膜粘接到平面光波導(dǎo)的背面，粘接后要求均勻無氣泡，將粘接好的平面光波導(dǎo)的粘接面固定安裝在金剛石劃片機(jī)的真空吸附操作面板上；

? ? ?（4）調(diào)整光波導(dǎo)的位置，根據(jù)波導(dǎo)要求設(shè)定切割深度、進(jìn)給速度和刀片轉(zhuǎn)速；

? ? ?（5）用金剛石劃片機(jī)在平面光波導(dǎo)的上表層刻出凹槽，制成脊形光波導(dǎo)，脊形光波導(dǎo)的寬度x為2-50μm，凹槽的深度為20-200μm，寬度w為50-200μm；

? ? ?（6）將得到的脊形光波導(dǎo)從藍(lán)色薄膜或襯底上取下，并對(duì)垂直于脊形光波導(dǎo)的兩個(gè)端面進(jìn)行光學(xué)拋光。

2.根據(jù)要求1所述的金剛石劃片機(jī)制備脊形光波導(dǎo)的方法，其特征在于，所述平面光波導(dǎo)為摻鎂周期性鈮酸鋰平面光波導(dǎo)或釔鋁石榴石平面光波導(dǎo)。

3.根據(jù)要求1所述的通過金剛石劃片機(jī)制備脊形光波導(dǎo)的方法，其特征在于步驟（1）中的清洗步驟如下:

用去離子水和無紡布擦洗樣品表層，以去除樣品表層上的大無機(jī)顆粒；

用肥皂水進(jìn)行超聲波清洗，去除有機(jī)污染物和無機(jī)顆粒，用去離子水沖洗，用氮?dú)飧稍铩?/p>

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，在步驟（2）之前，所述方法還包括:在啟動(dòng)所述金剛石劃片機(jī)之后，確認(rèn)所述水路和所述空氣回路正常運(yùn)轉(zhuǎn)，并且將所述水路中的冷卻水的溫度控制在18-22℃。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的通過金剛石劃片機(jī)制備脊形光波導(dǎo)的方法，其特征在于，步驟（2）中使用的刀片為樹脂金剛石刀片或電鍍刀片；

優(yōu)選地，包含在刀片中的金剛石顆粒的尺寸小于2微米..

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的利用金剛石劃片機(jī)制備脊形光波導(dǎo)的方法，其中，

在步驟（3）中，當(dāng)平面光波導(dǎo)的尺寸在2cm2以下時(shí)，用藍(lán)色薄膜保護(hù)平面光波導(dǎo)，然后用熱熔石蠟固定在5-15cm2尺寸的基片上，然后用藍(lán)色薄膜覆蓋基片背面，然后安裝在金剛石劃片機(jī)的操作面板上。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的通過金剛石劃片機(jī)制備脊形光波導(dǎo)的方法，其特征在于，藍(lán)色膜的結(jié)合溫度低于100℃。